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　　氮化硅(Si3N4)陶瓷基板的強度很高，尤其是熱壓氮化硅，是世界 上最堅硬的物質之一。它極耐高溫，強度一直可以維持到１２００℃的高溫而不下降，受熱后不會熔成融體，一直到１９００℃才會分解，并有驚人的耐化學腐蝕性 能，能耐幾乎所有的無機酸和３０％以下的燒堿溶液，也能耐很多有機酸的腐蝕；同時又是一種高性能電絕緣材料。氮化硅陶瓷可做燃氣輪機的燃燒室、機械密封 環(huán)、輸送鋁液的電磁泵的管道及閥門、永久性模具、鋼水分離環(huán)等。
　　氮化硅陶瓷是一種燒結時不收縮的無機材料。它是用硅粉作原料，先用通常成型的方法做成所需的形狀，在氮氣中及１２００℃的高溫下進行初步氮化，使其中一部 分硅粉與氮反應生成氮化硅，然后在１３５０℃～１４５０℃的高溫爐中進行第二次氮化，反應成氮化硅。用熱壓燒結法可制得達到理論密度９９％的氮化硅。 在室溫下Si3N4陶瓷的導熱率范圍在10到162 W.m -1.K -1之間。

分子式	Si3N4
相對分子質量	140.28
顏色	灰色、灰黑色
晶系	六方晶系。晶體呈六面體
密度	3.44 g/cm3
莫氏硬度	9~9.5
熔點	1900℃（加壓下）。通常在常壓下1900℃分解
比熱容	0.71J/(g·K)
熱導率	16.7W/(m·K)
彈性模量	28420~46060MPa
耐壓強度為	490MPa（反應燒結的）
溶解度	不溶于水。溶于氫氟酸。
氧化溫度	在空氣中開始氧化的溫度1300~1400℃